MEMS Mechanical Sensors, Stephen Beeby, Graham Ensell

Автор: Acar, Cenk Shkel, Andrei M.
Название: Mems vibratory gyroscopes
ISBN: 0387095357 ISBN-13(EAN): 9780387095356
Издательство: Springer
Рейтинг:
Цена: 156720.00 T
Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: Offers a foundation in the theory and fundamental operational principles of micromachined vibratory rate gyroscopes, and introduces structural designs that provide inherent robustness against structural and environmental variations.

Автор: Tom Proulx
Название: MEMS and Nanotechnology, Volume 4
ISBN: 146142898X ISBN-13(EAN): 9781461428985
Издательство: Springer
Рейтинг:
Цена: 231990.00 T
Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: MEMS and Nanotechnology, Volume 4 represents one of eight volumes of technical papers presented at the Society for Experimental Mechanics Annual Conference on Experimental and Applied Mechanics, held at Uncasville, Connecticut, June 13-16, 2011.

Автор: Pilar Gonzalez Ruiz; Kristin De Meyer; Ann Witvrou
Название: Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors
ISBN: 9400767986 ISBN-13(EAN): 9789400767980
Издательство: Springer
Рейтинг:
Цена: 111790.00 T
Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ГЇВїВЅ ГЇВїВЅm Cu-backend CMOS.

Автор: de Boer
Название: Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices II
ISBN: 1107413214 ISBN-13(EAN): 9781107413214
Издательство: Cambridge Academ
Цена: 28510.00 T
Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.